Recess sizes：

HL-1	HL-2	HL-3	HL-4	HL-5
HL-6	HL-7	HL-8	HL-9	HL-10
HL-15	HL-20	HL-25	HL-27	HL-30
HL-35	HL-40	HL-45	HL-50	HL-55
HL-60	HL-70	HL-80	HL-90	HL-100

Inspection：

• In-process
• Final Inspection